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Patente europea E15158780(5) - Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device

Nº Solicitud:

E15158780

Fecha presentación:

26/02/2004

Nº prioridad:

JP 2003049365

Fecha prioridad:

26/02/2003

Nº publicación OEP:

EP2945184

Fecha publicación:

18/11/2015

Fecha publicación concesión:

28/06/2017

Título:

Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

29/03/2018

Solicitante / Titular:

Nombre:
Nikon Corporation (100,00%)
Dirección:
15-3, Konan 2-chomeMinato-ku
Localidad:
Tokyo 108-6290
País de residencia:
JP JAPON

Inventor/es:

  1. Nagasaka, Hiroyuki
  2. Nishii, Yasufumi

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

PaísFechaNº prioridad
JAPON26/02/20032003049365
JAPON15/04/20032003110748
JAPON11/09/20032003320100

Clasificaciones:

CIP invención concesión:
H01L 21/027, G03F 7/20

Publicación:

Nº PublicaciónPaís de publicaciónFecha publicaciónTipo documento
EP2945184 EP18/11/2015A2 Solicitud de patente europea sin informe de búsqueda en la OEP
EP2945184 EP23/03/2016A3 Informe de búsqueda en la OEP
EP2945184 EP28/06/2017B1 Patente europea en la OEP
 

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

FechaActo de tramitación
18/11/2015 Publicación OEP Solicitud de Patente Europea sin Informe de Búsqueda (A2).
23/03/2016 Publicación OEP Informe de Búsqueda (A3).
10/08/2016 Modificación de Publicación con actualización de datos en la OEP.
22/02/2017 Publicación OEP Modificación de Datos. Título de la invención
28/06/2017 Publicación OEP Patente Europea (B1).
28/06/2017 No Presentada Traducción.
29/03/2018 Publicación OEP Oposiciones no presentadas.