Patente europea E15158780(5) - Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device
Nº Solicitud:
E15158780
Fecha presentación:
26/02/2004
Nº prioridad:
JP 2003049365
Fecha prioridad:
26/02/2003
Nº publicación OEP:
EP2945184
Fecha publicación:
18/11/2015
Fecha publicación concesión:
28/06/2017
Título:
Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device
Estado:
Patente no validada
Última actualización de la base de datos:
29/03/2018
Solicitante / Titular:
Nombre:
Nikon Corporation
(100,00%)
Dirección:
15-3, Konan 2-chomeMinato-ku
Localidad:
Tokyo 108-6290
País de residencia:
JP JAPON
Inventor/es:
Agente/Representante:
sin representación
Reivindicación de prioridad:
Clasificaciones:
CIP invención concesión:
H01L 21/027, G03F 7/20