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Patente europea E12766409(2) - CHUCK, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF USING A CHUCK

Nº Solicitud:

E12766409

Fecha presentación:

19/09/2012

Nº prioridad:

US 201161544039 P

Fecha prioridad:

06/10/2011

Nº publicación OEP:

EP2764408

Fecha publicación:

13/08/2014

Fecha publicación concesión:

21/08/2019

Nº publicación PCT:

WO2013/050243

Fecha publicación Internacional:

11/04/2013

Título:

CHUCK, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF USING A CHUCK

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

03/06/2020

Expediente principal:

Número de solicitud:

PCT/EP2012/068386

Fecha de presentación:

19/09/2012

Solicitante / Titular:

Nombre:

ASML Netherlands B.V. (100,00%)

Dirección:

P.O. Box 324

Localidad:

5500 AH Veldhoven

País de residencia:

NL PAISES BAJOS

Inventor/es:

GILISSEN, Noud
SIJBEN, Anko
CORNELISSEN, Bas
NOTENBOOM, Arnoud
VAN DER WILK, Ronald
SCHMITZ, Roger, Wilhelmus, Antonius, Henricus
WILL, Manon, Elise

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

País	Fecha	Nº prioridad
ESTADOS UNIDOS DE AMERICA	06/10/2011	201161544039 P

Clasificaciones:

CIP invención concesión:

G03F 7/20

Publicación:

Nº Publicación	País de publicación	Fecha publicación	Tipo documento
EP2764408	EP	13/08/2014	A1 Solicitud de patente europea con informe de búsqueda en la OEP
EP2764408	EP	21/08/2019	B1 Patente europea en la OEP

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

Fecha	Acto de tramitación
13/08/2014	Publicación OEP Solicitud de Patente Europea con Informe de Búsqueda (A1).
08/05/2019	Publicación OEP Modificación de Datos. Título de la invención
21/08/2019	Publicación OEP Patente Europea (B1).
21/08/2019	No Presentada Traducción.
03/06/2020	Publicación OEP Oposiciones no presentadas.

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