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Patente europea E12761311(5) - METHOD FOR MEASURING DISTORTION OF PROJECTION OBJECTIVE

Nº Solicitud:

E12761311

Fecha presentación:

21/03/2012

Nº prioridad:

CN 201110068060

Fecha prioridad:

21/03/2011

Nº publicación OEP:

EP2690496

Fecha publicación:

29/01/2014

Fecha publicación concesión:

17/08/2016

Nº publicación PCT:

WO2012/126364

Fecha publicación Internacional:

27/09/2012

Título:

METHOD FOR MEASURING DISTORTION OF PROJECTION OBJECTIVE

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

18/05/2017

Expediente principal:

Número de solicitud:

PCT/CN2012/072693

Fecha de presentación:

21/03/2012

Solicitante / Titular:

Nombre:

Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. (100,00%)

Dirección:

1525 Zhangdong Road Pudong New Area

Localidad:

Shanghai 201203

País de residencia:

CN CHINA

Inventor/es:

FANG, Li
SUN, Gang
MIN, Jinhua
ZHANG, Jun

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

País	Fecha	Nº prioridad
CHINA	21/03/2011	201110068060

Clasificaciones:

CIP invención concesión:

G03F 7/20, H01L 21/66, G03F 1/44

Publicación:

Nº Publicación	País de publicación	Fecha publicación	Tipo documento
EP2690496	EP	29/01/2014	A1 Solicitud de patente europea con informe de búsqueda en la OEP
EP2690496	EP	17/08/2016	B1 Patente europea en la OEP

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

Fecha	Acto de tramitación
29/01/2014	Publicación OEP Solicitud de Patente Europea con Informe de Búsqueda (A1).
17/08/2016	Publicación OEP Patente Europea (B1).
17/08/2016	No Presentada Traducción.
18/05/2017	Publicación OEP Oposiciones no presentadas.

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