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Patente europea E12716017(4) - NETWORK ARCHITECTURE AND PROTOCOL FOR CLUSTER OF LITHOGRAPHY MACHINES

Nº Solicitud:

E12716017

Fecha presentación:

23/04/2012

Nº prioridad:

US 201161478117 P

Fecha prioridad:

22/04/2011

Nº publicación OEP:

EP2699966

Fecha publicación:

26/02/2014

Fecha publicación concesión:

07/04/2021

Nº publicación PCT:

WO2012/143548

Fecha publicación Internacional:

26/10/2012

Título:

NETWORK ARCHITECTURE AND PROTOCOL FOR CLUSTER OF LITHOGRAPHY MACHINES

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

10/01/2022

Expediente principal:

Número de solicitud:

PCT/EP2012/057366

Fecha de presentación:

23/04/2012

Solicitante / Titular:

Nombre:

Mapper Lithography IP B.V. (100,00%)

Dirección:

Computerlaan 15

Localidad:

2628 XK Delft

Inventor/es:

VAN KERVINCK, Marcel Nicolaas Jacobus
DE BOER, Guido

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

País	Fecha	Nº prioridad
ESTADOS UNIDOS DE AMERICA	22/04/2011	201161478117 P
ESTADOS UNIDOS DE AMERICA	12/09/2011	201161533673 P

Clasificaciones:

CIP invención concesión:

G03F 7/20, H01J 37/317

Publicación:

Nº Publicación	País de publicación	Fecha publicación	Tipo documento
EP2699966	EP	26/02/2014	A2 Solicitud de patente europea sin informe de búsqueda en la OEP
EP2699966	EP	07/04/2021	B1 Patente europea en la OEP

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

Fecha	Acto de tramitación
26/02/2014	Publicación OEP Solicitud de Patente Europea sin Informe de Búsqueda (A2).
06/01/2021	Publicación OEP Modificación de Datos. Título de la invención
07/04/2021	Publicación OEP Patente Europea (B1).
07/04/2021	No Presentada Traducción.
10/01/2022	Publicación OEP Oposiciones no presentadas.

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