Patente europea E12171001(6) - Electrostatic clamp, lithographic apparatus and method of manufacturing an electrostatic clamp
Nº Solicitud:
E12171001
Fecha presentación:
06/06/2012
Nº prioridad:
US 201161514320 P
Fecha prioridad:
02/08/2011
Nº publicación OEP:
EP2555234
Fecha publicación:
06/02/2013
Fecha publicación concesión:
19/08/2020
Título:
Electrostatic clamp, lithographic apparatus and method of manufacturing an electrostatic clamp
Estado:
Patente no validada
Última actualización de la base de datos:
20/05/2021
Solicitante / Titular:
Nombre:
ASML Holding N.V.
(100,00%)
Dirección:
De Run 6501
Localidad:
5504 DR Veldhoven
País de residencia:
NL PAISES BAJOS
Inventor/es:
Agente/Representante:
sin representación
Reivindicación de prioridad:
Clasificaciones:
CIP invención concesión:
G03F 7/20, H01L 21/683