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Patente europea E12171001(6) - Electrostatic clamp, lithographic apparatus and method of manufacturing an electrostatic clamp

Nº Solicitud:

E12171001

Fecha presentación:

06/06/2012

Nº prioridad:

US 201161514320 P

Fecha prioridad:

02/08/2011

Nº publicación OEP:

EP2555234

Fecha publicación:

06/02/2013

Fecha publicación concesión:

19/08/2020

Título:

Electrostatic clamp, lithographic apparatus and method of manufacturing an electrostatic clamp

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

20/05/2021

Solicitante / Titular:

Nombre:
ASML Holding N.V. (100,00%)
Dirección:
De Run 6501
Localidad:
5504 DR Veldhoven
País de residencia:
NL PAISES BAJOS

Inventor/es:

  1. Helmus, Peter
  2. Wilklow, Ronald
  3. Deng, Jianguo

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

PaísFechaNº prioridad
ESTADOS UNIDOS DE AMERICA02/08/2011201161514320 P

Clasificaciones:

CIP invención concesión:
G03F 7/20, H01L 21/683

Publicación:

Nº PublicaciónPaís de publicaciónFecha publicaciónTipo documento
EP2555234 EP06/02/2013A2 Solicitud de patente europea sin informe de búsqueda en la OEP
EP2555234 EP14/06/2017A3 Informe de búsqueda en la OEP
EP2555234 EP19/08/2020B1 Patente europea en la OEP
 

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

FechaActo de tramitación
06/02/2013 Publicación OEP Solicitud de Patente Europea sin Informe de Búsqueda (A2).
14/06/2017 Publicación OEP Modificación de Datos. Clasificación
14/06/2017 Publicación OEP Informe de Búsqueda (A3).
24/01/2018 Publicación OEP Modificación de Datos. Países designados
13/11/2019 Publicación OEP Modificación de Datos. Clasificación
19/08/2020 Publicación OEP Patente Europea (B1).
19/08/2020 No Presentada Traducción.
20/05/2021 Publicación OEP Oposiciones no presentadas.