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Patente europea E11798145(6) - SUCTION APPARATUS, SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION METHOD

Nº Solicitud:

E11798145

Fecha presentación:

21/06/2011

Nº prioridad:

JP 2010142868

Fecha prioridad:

23/06/2010

Nº publicación OEP:

EP2587529

Fecha publicación:

01/05/2013

Fecha publicación concesión:

17/01/2018

Nº publicación PCT:

WO2011/162261

Fecha publicación Internacional:

29/12/2011

Título:

SUCTION APPARATUS, SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION METHOD

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

18/10/2018

Expediente principal:

Número de solicitud:

PCT/JP2011/064172

Fecha de presentación:

21/06/2011

Solicitante / Titular:

Nombre:

Hamamatsu Photonics K.K. (100,00%)

Dirección:

1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku

Localidad:

Hamamatsu-shi

Código Postal:

435-8558

País de residencia:

JP JAPON

Inventor/es:

TERADA Hirotoshi
MATSUURA Hiroyuki

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

País	Fecha	Nº prioridad
JAPON	23/06/2010	2010142868

Clasificaciones:

CIP invención concesión:

G01N 21/95, H01L 21/683, H01L 21/687

CIP adicional concesión:

H01L 21/66

Publicación:

Nº Publicación	País de publicación	Fecha publicación	Tipo documento
EP2587529	EP	01/05/2013	A1 Solicitud de patente europea con informe de búsqueda en la OEP
EP2587529	EP	17/01/2018	B1 Patente europea en la OEP

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

Fecha	Acto de tramitación
01/05/2013	Publicación OEP Solicitud de Patente Europea con Informe de Búsqueda (A1).
12/04/2017	Publicación OEP Modificación de Datos. Clasificación, Número de publicación PCT.
25/10/2017	Publicación OEP Modificación de Datos. Clasificación
17/01/2018	Publicación OEP Patente Europea (B1).
17/01/2018	No Presentada Traducción.
18/10/2018	Publicación OEP Oposiciones no presentadas.

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