Patente europea E10186357(9) - Piezoelectric actuating structure comprising an integrated piezoresistive strain gauge and manufacturing method thereof
Nº Solicitud:
E10186357
Fecha presentación:
04/10/2010
Nº prioridad:
FR 0904774
Fecha prioridad:
06/10/2009
Nº publicación OEP:
EP2309559
Fecha publicación:
13/04/2011
Fecha publicación concesión:
29/05/2013
Título:
Piezoelectric actuating structure comprising an integrated piezoresistive strain gauge and manufacturing method thereof
Estado:
Patente no validada
Última actualización de la base de datos:
09/09/2013
Solicitante / Titular:
Nombre:
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
(100,00%)
Dirección:
Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc
Localidad:
75015 Paris
País de residencia:
FR FRANCIA
Inventor/es:
Agente/Representante:
sin representación
Reivindicación de prioridad:
Clasificaciones:
CIP invención concesión:
H01L 41/314, H01L 41/29, H01L 41/09
CIP adicional concesión:
H01L 41/332, H01L 41/047