Patente europea E08807390(3) - SPUTTERING SYSTEM
Nº Solicitud:
E08807390
Fecha presentación:
21/08/2008
Nº prioridad:
EP 07115308
Fecha prioridad:
30/08/2007
Nº publicación OEP:
EP2188411
Fecha publicación:
26/05/2010
Fecha publicación concesión:
26/10/2011
Nº publicación PCT:
WO2009/027905
Fecha publicación Internacional:
05/03/2009
Título:
SPUTTERING SYSTEM
Estado:
Patente no validada
Última actualización de la base de datos:
06/02/2012
Expediente principal:
Número de solicitud:
Fecha de presentación:
21/08/2008
Solicitante / Titular:
Nombre:
KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
Dirección:
High Tech Campus 5
Localidad:
Eindhoven
Código Postal:
5656 AE
País de residencia:
NL PAISES BAJOS
Otros solicitantes/titulares:
Inventor/es:
Agente/Representante:
sin representación
Reivindicación de prioridad:
Clasificaciones:
CIP invención concesión:
C23C 14/34, H01J 37/34