La operación se está realizando...

Patente europea E04714910(9) - EXPOSURE APPARATUS AND METHOD, AND METHOD OF PRODUCING APPARATUS

Nº Solicitud:

E04714910

Fecha presentación:

26/02/2004

Nº prioridad:

JP 2003049365

Fecha prioridad:

26/02/2003

Nº publicación OEP:

EP1598855

Fecha publicación:

23/11/2005

Fecha publicación concesión:

22/04/2015

Nº publicación PCT:

WO2004/086468

Fecha publicación Internacional:

07/10/2004

Título:

EXPOSURE APPARATUS AND METHOD, AND METHOD OF PRODUCING APPARATUS

Estado:

Patente no validada

Última actualización de la base de datos:

02/09/2015

Expediente principal:

Número de solicitud:

PCT/JP2004/002295

Fecha de presentación:

26/02/2004

Solicitante / Titular:

Nombre:

Nikon Corporation (100,00%)

Dirección:

15-3, Konan 2-chomeMinato-ku

Localidad:

Tokyo 108-6290

País de residencia:

JP JAPON

Inventor/es:

Nagasaka, Hiroyuki
Owa, Soichi
Nishii, Yasufumi

Agente/Representante:

sin representación

Reivindicación de prioridad:

País	Fecha	Nº prioridad
JAPON	26/02/2003	2003049365
JAPON	15/04/2003	2003110748
JAPON	11/09/2003	2003320100

Clasificaciones:

CIP invención concesión:

H01L 21/027, G03F 7/20

Clasificación CIP7 o anteriores:

H 01L 21/027 , G 03F 7/20

Publicación:

Nº Publicación	País de publicación	Fecha publicación	Tipo documento
WO2004/086468	WO	07/10/2004	A1 Solicitud internacional PCT con informe de búsqueda internacional en la OMPI
EP1598855	EP	23/11/2005	A1 Solicitud de patente europea con informe de búsqueda en la OEP
EP1598855	EP	22/04/2015	B1 Patente europea en la OEP

Tramitado según Ley 11/1986

Actos de tramitación:

Fecha	Acto de tramitación
07/10/2004	PUBLICACION SOLICITUD PCT
23/11/2005	IDIOMA DE PROCEDIMIENTO INGLES
23/11/2005	PUBLICACION SOLICITUD O.E.P.
22/04/2015	Publicación OEP Patente Europea (B1).
22/04/2015	No Presentada Traducción.
02/09/2015	Modificación de Publicación con actualización de datos en la OEP.

	Español
	English