Patente europea E01991604(8) - STRUCTURAL REINFORCEMENT OF HIGHLY POROUS LOW K DIELECTRIC FILMS BY CU DIFFUSION BARRIER STRUCTURES
Nº Solicitud:
E01991604
Fecha presentación:
18/12/2001
Nº prioridad:
US 747701
Fecha prioridad:
20/12/2000
Nº publicación OEP:
EP1356509
Fecha publicación:
29/10/2003
Fecha publicación concesión:
24/10/2012
Nº publicación PCT:
WO2002/050894
Fecha publicación Internacional:
27/06/2002
Título:
STRUCTURAL REINFORCEMENT OF HIGHLY POROUS LOW K DIELECTRIC FILMS BY CU DIFFUSION BARRIER STRUCTURES
Estado:
Patente no validada
Última actualización de la base de datos:
04/02/2013
Expediente principal:
Número de solicitud:
Fecha de presentación:
18/12/2001
Solicitante / Titular:
Nombre:
Intel Corporation
(100,00%)
Dirección:
2200 Mission College Boulevard
Localidad:
Santa Clara, CA 95054
País de residencia:
US ESTADOS UNIDOS DE AMERICA
Inventor/es:
Agente/Representante:
sin representación
Reivindicación de prioridad:
Clasificaciones:
CIP invención concesión:
H01L 21/768, H01L 21/316
Clasificación CIP7 o anteriores:
H 01L 21/768